真空系統(tǒng)隔膜真空泵是一類利用柔性隔膜的往復(fù)式機(jī)械運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)抽氣、壓縮與排氣功能的干式真空泵。由于其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)油潤(rùn)滑、耐腐蝕性強(qiáng)，被廣泛應(yīng)用于分析儀器、實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)、醫(yī)藥工藝、環(huán)境監(jiān)測(cè)及微電子制造等領(lǐng)域。相比旋片泵、羅茨泵等傳統(tǒng)真空設(shè)備，隔膜泵更側(cè)重于中低真空范圍內(nèi)的潔凈、穩(wěn)定和免維護(hù)運(yùn)行特性，在現(xiàn)代精密儀器系統(tǒng)中占據(jù)重要地位。
1.驅(qū)動(dòng)部分
一般采用偏心電機(jī)、連桿機(jī)構(gòu)或無(wú)刷直流電機(jī)帶動(dòng)，使隔膜做周期性的上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。這一運(yùn)動(dòng)會(huì)在泵腔內(nèi)產(chǎn)生交替的負(fù)壓與正壓。
2.隔膜與泵腔
隔膜通常采用PTFE、氟橡膠或復(fù)合材料制成，兼具柔韌性和耐化學(xué)性。隔膜向外拉伸時(shí)泵腔容積增大，形成負(fù)壓并吸入氣體；隔膜向內(nèi)壓縮時(shí)泵腔容積減小，將氣體經(jīng)排氣閥排出。
3.單向閥結(jié)構(gòu)
進(jìn)氣閥和排氣閥通常為膜片式或彈片式單向閥。它們?cè)趬毫Σ钭饔孟伦詣?dòng)開啟或關(guān)閉，實(shí)現(xiàn)氣體的方向性流動(dòng)，確保泵的抽吸循環(huán)穩(wěn)定進(jìn)行。
通過(guò)連續(xù)的周期性運(yùn)動(dòng)，隔膜泵能夠在不使用油潤(rùn)滑的情況下，穩(wěn)定產(chǎn)生1mbar～200mbar（不同型號(hào)有所區(qū)別）的真空度，滿足多數(shù)實(shí)驗(yàn)室和工藝的需求。
真空系統(tǒng)隔膜真空泵的主要特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：
1.無(wú)油、氣體潔凈度高
隔膜泵整個(gè)抽氣過(guò)程沒(méi)有油參與，不會(huì)產(chǎn)生油蒸氣返流，也不會(huì)污染真空系統(tǒng)。這使其非常適合與質(zhì)譜儀、氣相色譜儀、冷阱系統(tǒng)以及潔凈工藝配套使用。
2.耐腐蝕性強(qiáng)
隔膜及閥片可采用PTFE、FPM等耐化學(xué)材質(zhì)，對(duì)酸性、堿性、腐蝕性及潮濕氣體具有良好耐受能力，因此非常適用于化學(xué)合成、溶劑蒸餾、過(guò)濾和萃取等實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景。
3.噪音低、振動(dòng)小
由于結(jié)構(gòu)輕量、無(wú)摩擦接觸部件，運(yùn)行時(shí)噪音普遍低于60dB，尤其適合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。此外，隔膜運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，使設(shè)備振動(dòng)非常小。
4.使用維護(hù)簡(jiǎn)單
隔膜泵無(wú)需換油，大多數(shù)型號(hào)只需定期更換隔膜及閥片即可完成維護(hù)，維護(hù)周期長(zhǎng)、成本低。
5.體積小、便于集成
隔膜泵通常結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕，易于安裝在機(jī)柜、儀器內(nèi)部或移動(dòng)式系統(tǒng)中，是儀器制造商常用的內(nèi)置真空源。
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